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如何利用孔板流量計實現蒸汽質量流量控製

作者: 來源: 發布時間:2019-05-16 09:33:26
    我經常被要求描述Sierra成功處理的最具挑戰性的流量計應用。我們想到的是我們如何使用孔板流量計(設計用於測量氣體)來精確控製半導體工業中使用的液體,壓差極低,約為10托。
    最初,我認為這不可行,因為液體導致孔板流量計最大輸出或“軌道”,並且壓差對於5 SLPM等效N2流量而言太低。但等等,它確實有效!這是如何做…
    我想討論一種特殊形式的氣體流量測量 - 水蒸汽 - 也稱為蒸汽流量。傳統上,蒸汽用孔板測量。蒸汽通常是飽和的或具有已知的過熱,因此可以從蒸汽台獲得密度。
淺談關於孔板流量計測量之前的12個正確安裝技巧
    然而,蒸汽在沿管道下降時自然冷卻,因此使用點的壓力和溫度通常與離開鍋爐時的壓力和溫度不同; 因此,引入了密度誤差並且蒸汽的質量流量不再正確。顯然,可以添加T和P補償,但這會導致我們之前討論過的相同問題。
    我們詳細研究了這個問題,並開發了Innova-Mass®240&241 Mass Vortex多變量流量計作為回應。孔板流量計使用這樣的事實:每單位時間由阻流體流出的渦流數量是流體速度的函數。
    典型的比喻是隨風飄動的旗幟。隨著風速的增加,旗幟會更快地翻動。實際的拍打是由旗杆上的漩渦(“虛張聲勢”)引起的。如果我們可以計算每單位時間的襟翼數量,我們就可以確定風速。
    通過將液體加熱至80℃並抽真空將液體鼓泡在容器中; 這會將液體變成蒸汽。然後,必須將其保持在真空和80℃以防止其冷凝回液體中。並且,如果它保持蒸汽,傳感器可以將其檢測為非冷凝氣流而不是軌道輸出。這意味著質量流量控製器的流體也需要外部加熱到80°C。
    下一步是應對壓力下降。閥門中的正常尺寸的孔口會阻塞並控製流量,蒸汽會凝結並轉變成液體,從而導致故障。壓降太高而無法達到滿量程流量。解決方案是采用低流量計閥體並將其與通常用於高達500 SLPM的高流量閥匹配。這提供了足夠低的壓降以達到滿量程流動並且不會使蒸汽冷凝回液體中。
    在Sierra,我們一直致力於流量計的創新,並喜歡解決諸如蒸汽質量流量控製等棘手問題。我們可以做些什麽來幫助你?您最具挑戰性的流量計應用是什麽?請在下麵的評論中分享或聯係我們獲取高級工程支持。

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